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水下能譜儀是怎樣進(jìn)行無損分析的?

更新時(shí)間:2022-10-28      點(diǎn)擊次數(shù):833
  水下能譜儀為掃描電鏡附件,其原理為電子槍發(fā)射的高能電子由電子光學(xué)系統(tǒng)中的兩級電磁透鏡聚焦成很細(xì)的電子束來激發(fā)樣品室中的樣品,從而產(chǎn)生背散射電子,二次電子、俄歇電子、吸收電子、透射電子、X射線和陰極熒光等多種信息。
 
  水下能譜儀由半導(dǎo)體探測器、前置放大器和多道脈沖分析器組成。它是利用X射線光子的能量來進(jìn)行元素分析的。X射線光子有鋰漂移硅Si(Li)探測器接收后給出電脈沖信號(hào),該信號(hào)的幅度隨X射線光子的能量不同而不同。
 
  脈沖信號(hào)再經(jīng)放大器放大整形后,送入多道脈沖高度分析器,然后根據(jù)X射線光子的能量和強(qiáng)度區(qū)分樣品的種類和高度。
 
  若X射線光子由Si(Li)探測器接收后給出電脈沖訊號(hào),由于X射線光子能量不同(對某一元素能量為一不變量)經(jīng)過放大整形后送人多道脈沖分析器,通過顯象管就可以觀察按照特征X射線能量展開的圖譜。
 
  一定能量上的圖譜表示一定元素,圖譜上峰的高低反映樣品中元素的含量(量子的數(shù)目)這就是X射線能譜儀的基本原理。
 
  在許多材料的研究與應(yīng)用中,需要用到一些特殊的儀器來對各種材料從成分和結(jié)構(gòu)等方面進(jìn)行分析研究。其中,X射線能譜儀(XPS)就是常用儀器。能快速、同時(shí)對除H和He以外的所有元素進(jìn)行元素定性、定量分析,幾分鐘內(nèi)就可完成;可以直接測定來自樣品單個(gè)能級光電發(fā)射電子的能量分布,且直接得到電子能級結(jié)構(gòu)的信息。
 
  能譜所需探針電流小,是一種無損分析。對電子束照射后易損傷的試樣,例如生物試樣、快離子試樣、玻璃等損傷小。是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù)。分析所需試樣約8-10g即可,靈敏度高達(dá)10-18g,樣品分析深度約2nm。
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